
Projektstart EiS: Entwicklung innovativer Schichtstapel MEMS-IR-Emitter
/in IR, MOEMSDas neue Forschungsprojet EiS beschäftigt sich mit der Entwicklung innovativer Schichtstapel MEMS-IR-Emitter. Angestrebt wird dabei ein noch weiter miniaturisierter und kostengünstigerer Chip, der mindestens dieselbe Lichtausbeute bisheriger Chips aufweist und damit neue Anwendungsgebiete erschließen kann
Stressunabhängige On-Chip-Temperaturerfassung (SOT)
/in Druck, MEMS, TemperaturSiliziumdehnmessstreifen (Si-DMS) bieten zahlreiche hervorragende Eigenschaften. Um die Temperaturbeeinflussung zu verringern oder zu kompensieren wurden auf dem gleichen Chip auch Temperaturmesswider-stände, Temperaturdioden sowie bipolare Transistoren integriert. Mit den on-chip pnp-Transistoren konnten temperaturkompensierte Sensoraufbauten realisiert werden
Industrienahe Forschungsergebnisse auf den Frühjahrstagungen der DPG
/in Messtechnik, VeranstaltungenIn der ersten Märzhälfte veranstaltet die Deutsche Physikalische Gesellschaft ihre jährlichen Frühjahrtagungen in Mainz, Dresden und Erlangen. Das CiS Forschungsinstitut stellt an der Johannes-Gutenberg-Universität in Mainz sowie der Technischen Universität Dresden aktuelle Entwicklungsergebnisse aus den Bereichen defektbasierter Lichtemitter in dotiertem Silizium, systematische Vergleiche von NV-Diamantmaterialien, Qubits in der siliziumbasierten Quantentechnologie oder auch Elektromigrationsexperimente in Vorträgen und Postern vor
Projektabschluss Si-Heat Flux Sensor: ein neuartiger Wärmestromsensor
/in Energie, MOEMSTypische Wärmestromsensoren arbeiten nach dem Seebeck-Effekt. Die Neuentwicklung des CiS Forschungsinstituts, basierend auf in Reihe geschaltete Temperaturdioden, erhöht signifikant den Signalhub. Die Herstellung dieser Sensoren ist erheblich preisgünstiger und es können auch absolute Temperaturen gemessen werden
Messepremiere auf Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung
/in Druck, MEMS, MOEMS, VeranstaltungenAm 23. Februar 2026 startet in Nürnberg die ENFORCE TAC, Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung. Das CiS Forschungsinstitut ist erstmalig mit einer Fläche vertreten und zeigt in Halle 6, Stand 6-215, dem Gemeinschaftsstand der LEG Thüringen, relevante Entwicklungsergebnisse wie ein mobiles Vitalsensorsystem, kundenspezifische Fotodiodenmodule für Laser-Warnsysteme oder auch ein Nachrüstsatz zur nichtinvasiven Druckmessung sowie Sensoren zur Riemenspannungsüberwachung
Vortrag auf dem 21st „Trento“ Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors
/in MEMS, Quanten, VeranstaltungenVom 17. bis 19. Februar 2026 findet der 21st „Trento“ Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors in Perugia, Italien statt. Das CiS Forschungsinstitut ist dort mit einem Beitrag zur Verbesserung von Low Gain Avalanche Detektoren (LGAD) hinsichtlich der Empfindlichkeit für niederenergetische Elektronen vertreten
Im-Ohr-Vitalsensor für Einsatzkräfte sowie Berg- und Luftsportler zur Erkennung von Gefahrensituationen
/in Medizintechnik, MOEMSDie Entwicklung ist Bestandteil des laufenden Verbundförderprojekts „MoViSEG“ (ZIM, #KK5085707DF4) der Partner KORA Industrie-Elektronik GmbH und der CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH. Das System soll eine optisch-digitale Im-Ohr-Sensoreinheit mit einer leichtgewichtigen und am Helm befestigten Ansteuerungs- und Übertragungseinheit vereinen
Projektabschluss Nanolever: Sensor zur Bestimmung der Schichtspannung
/in Kraft, MEMSDer neu entwickelte piezoresistive Filmkraftsensor ermöglicht die hochsensitive und robuste Messung von Schichtspannungen im Bereich von etwa 1 N/m bis hinunter in den µN/m-Bereich. Er schließt damit die Lücke zwischen grob auflösenden Standardverfahren und komplexen optischen Laboraufbauten
Von der Materialforschung bis zur Softwareentwicklung: Am CiS Experimentiertag praxisnah MINT-Berufe entdecken
/in MEMS, MOEMS, VeranstaltungenAm 29. Januar 2026 besuchten etwa 40 Schülerinnen und Schüler der Kooperativen Gesamtschule „Am Schwemmbach“ in Erfurt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik, um die Welt naturwissenschaftlicher und technischer Berufe zu erkunden
NivLer – eine nachrüstbare Lösung für die Prozessdrucküberwachung
/in MEMS, VeranstaltungenIm abgeschlossenen Projekt NivLer entwickelte Das CiS Forschungsinstitut eine nichtinvasive Nachrüstlösung für die Überwachung von Rohrsystemen in der Industrie. Der nachrüstbare Sensor unterstützt eine datenbasierte Wartungsoptimierung durch frühzeitiges Erkennen des Verschleißes und ist auch in Bereichen mit hoher hygienischer Anforderung wie in der Pharma- und Lebensmittelproduktion geeignet











