Erfolgreiches FuE Projekt MIREC beim Innovationstag Mittelstand des BMWI 2021


14.06.2021


Auf dem Innovationstag Mittelstand des BMWi 2021 präsentiert die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH in der Rubrik Erfolgsbeispiele ihre Ergebnisse des Forschungsprojekts „Miniaturisierter Infra-Rot-Emitter-Chip“. Das innovative Projekt wurde im Rahmen des Programms INNO-KOM - Forschungsergebnisse für den Mittelstand gefördert. Auf der Veranstaltungsseite wird das Projekt dem Fokusthema Digitalisierung/ künstliche Intelligenz zugeordnet. Erstmals findet dieses jährliche Schaufenster erfolgreicher und innovativer realisierter Projekte als digitale Veranstaltung statt.

https://innovationstag-mittelstand-bmwi.de/erfolgsbeispiele

Im Projekt MIREC wurde ein plasmaunterstütztem Ätz-Prozess entwickelt, mit welchem gleichzeitig eine dünne funktionale Membran und ein Bruchgraben für die folgende Chipvereinzelung erzeugt werden. Bei MEMS-IR-Emittern erhält man damit gegenüber dem Stand der Technik mehr als Faktor 4 kleinere Flächen und eine um Faktor 2 höhere Dynamik. Solche Baugruppen werden als Lichtquelle in optischen Gassensoren eingesetzt, wobei geringe Kosten bei gleichzeitig hoher optischer Leistung und schnellem Schaltverhalten gefordert sind. Mit den entwickelten nur 1 mm² kleinen Strahlern wurde eine langzeitstabile Emission > 10 mW und Dynamik über 100 Hz erreicht.

Die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten im Projekt Miniaturisierter InfraRot-Emitter-Chip (MIREC) wurden gefördert durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie.
FZK: 49MF160085