Neues Verfahren zur Herstellung miniaturisierter InfraRot-Emitter-Chips (MIREC)
Mit einem neuen plasmaunterstütztem Ätz-Prozess werden gleichzeitig eine dünne funktionale Membran und ein Bruchgraben für die folgende Chipvereinzelung erzeugt. Bei MEMS-IR-Emittern erhält man damit gegenüber dem Stand der Technik mehr als Faktor 4 kleinere Flächen und eine um Faktor 2 höhere Dynamik
Sicher ist sicher – Flanschdichtungsmonitoring
Dauerhaft sichere Flanschverbindungen sind die Grundvoraussetzungen für stabile Produktionsprozesse und Arbeiten auf einem hohen Sicherheitslevel. Aktuell entwickelte siliziumbasierte MEMS-Sensoren werden auf Schraubenköpfen appliziert und messen deren Verformung aufgrund Änderungen der Vorspannkraft
Empfindliche Fluoreszenzsensoren im Würfelzuckerformat
Empfindliche Fluoreszenzsensoren im Würfelzuckerformat – Moderne Fluoreszenzsensoren sollen klein, hochauflösend und hochsensitiv, preiswert und robust sein. Das CiS Forschungsinstitut entwickelt im Forschungsprojekt SmartFLU einen technologischen Baukasten für ein 2-kanaliges Fluorimeter
MEMS-Sensoren für grünen Wasserstoff
Zur Umsetzung der Nationalen Wasserstoffstrategie ist das CiS Forschungsinstitut Partner in zwei Forschungsprojekten. Das Konsortium HYPOS entwickelt Lösungen für die gesamte Wertschöpfungskette und breite Anwendung von grünem Wasserstoff in vielen Branchen
Innovationsnetzwerk QPhot
Das CiS Forschungsinstitut tritt dem Innovationsnetzwerk QPhot – Quantum Photonics bei, wodurch der aufkommende Markt der Quantenphotonik erreicht wird und kundenspezifische, vermarktbare Sensorlösungen dieses Segments etabliert werden sollen
Hohe Messgenauigkeit bei der optischen Charakterisierung von UV-LEDs
Durch die Optimierung des Messaufbaus sowie der Auswerteroutine wird ein Absolutvergleich der Abstrahlcharakteristik verschiedener Messungen untereinander möglich. Weniger als 3% Messunsicherheit werden bei einer Winkelauflösung von 1,5 erzielt. Aktuell wird das Normierungsverfahren getestet
GeWaDiS – Gezieltes Wachstum synthetischer Diamant-Schichten für Drucksensoren
Passivierschichten aus synthetischem Diamant sind besonders medienresistent. Eine kostengünstige Implementierung von Diamantschichten in relevanten Sensorbereichen wurde mittels Adaption von Technologien der Mikrosystemtechnik zuverlässig erprobt
Entwicklung eines Sensors zur Fehlerfrüherkennung in Hochleistungsbatterien
Nach erfolgreichem Pitch bei getstarted2gether wird das Gründungsprojekt „Fehlerfrüherkennung in Hochleistungsbatterien“ der DC Industrie Entwicklung GmbH aktuell produktions- und verfahrensreif weiterentwickelt. Das CiS Forschungsinstitut unterstützt das Start Up im Förderzeitraum mit seiner technischen Infrastruktur sowie seiner Competence in Silicon aus mehr als 25 Jahren
Thermopiles für berührungslose Temperaturmessung beim Menschen
Die gegenwärtige Lage rund um Corona und die COVID-19 Pandemie erfordert ein sehr dynamisches Handeln sowie überdurchschnittliches Engagement. Im Rahmen von Industrieaufträgen entwickelt und fertigt das CiS Forschungsinstitut gemeinsam mit Partnern Thermopiles. Diese Sensoren erlauben die berührungslose Temperaturmessung und kommen in Kontaktlosthermometern in Gate-Lösungen zum Einsatz
1. Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS – High Performance Sensorik
Im Rahmen dieses 1. Statusworkshops zum BMBF-Wachstumskernes HIPS am 19. März präsentiert Andrea Cyriax aktuelle Entwicklungen im Bereich MEMS-Sensorik. In einem zweiten Vortrag wird das Verbundprojekt zum Thema Gassensorik, welches vom CiS Forschungsinstitut koordiniert wird, durch Dr. Klaus Ettrich vorgestellt
