Projektabschluss Nanolever: Sensor zur Bestimmung der Schichtspannung
Der neu entwickelte piezoresistive Filmkraftsensor ermöglicht die hochsensitive und robuste Messung von Schichtspannungen im Bereich von etwa 1 N/m bis hinunter in den µN/m-Bereich. Er schließt damit die Lücke zwischen grob auflösenden Standardverfahren und komplexen optischen Laboraufbauten

