Mit Messestand auf der HM21 Digital Edition
In dieser Woche präsentieren wir auf der HM21 Digital Edition aktuelle Forschungsthemen und Projektergebnisse in der Entwicklung siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte
NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors
/in Kraft, MEMSFür die Bestimmung der Oberflächenhärte im Nanometerbereich wird im gerade gestarteten Projekt „NanoSense“ ein neuer Messkopf aus der Kombination eines Kraft- und Wegsensors entwickelt. Er soll modular an gängige Universalprüfmaschinen und XY-Achsen Manipulatoren angeschlossen werden
Webinar mit Live-Demo: Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren
/in AVT, Kraft, MEMS, VeranstaltungenMEMS-basierte piezoresistive Kraftsensoren können zur Überwachung von Vorspannkräften oder zum Monitoring von Kontaktkräften eingesetzt werden. Unser Webinar geht auf die technischen Grundlagen solcher Sensoren ein und wir zeigen Ihnen einige Demonstratoren von uns entwickelter Silizium-Dehnmessstreifen (Si-DMS)
8. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 2020
/in Kraft, MEMS, MOEMS, VeranstaltungenIm Rahmen des 8. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 2020 ist das CiS Forschungsinstitut mit zwei spannenden Kurzvorträgen vertreten. Die Online-Fachtagung wird von der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik in Zusammenarbeit mit Ruhr-Universität Bochum veranstaltet
Aufbau komplexer miniaturisierter Kraftsensorsysteme gefügt mittels Glaslot
/in AVT, Kraft, MEMSDas CiS Forschungsinstitut verwendet für hybridaufgebaute Kraftsensoren eigene piezoresistive, miniaturisierte Dehnungssensoren aus Silizium (Si-DMS) mit bereits integrierter Vollbrücke. Als Fügetechnik der in 90° zueinander liegenden Si-DMS auf dem Federkörper kommt das Glaslot-Bonden zum Einsatz
Sicher ist sicher – Flanschdichtungsmonitoring
/in Kraft, MEMSDauerhaft sichere Flanschverbindungen sind die Grundvoraussetzungen für stabile Produktionsprozesse und Arbeiten auf einem hohen Sicherheitslevel. Aktuell entwickelte siliziumbasierte MEMS-Sensoren werden auf Schraubenköpfen appliziert und messen deren Verformung aufgrund Änderungen der Vorspannkraft
Bekanntgabe der Preisträger für den Silicon Science Award 2019
/in Kraft, Prozessentwicklung, UVGemeinsam mit dem CiS Forschungsinstitut vergibt der CiS e.V. regelmäßig den Silicon Science Award für herausragende wissenschaftliche Leistungen auf dem Gebieten der Mikrosystemtechnik. Insgesamt stellen die Stifter 4.000 Euro Preisgeld zur Verfügung über das sich in diesem Jahr drei Preisträger freuen dürfen
Technologie- und Wissenstransfer in Ilmenau
/in Kraft, MEMS, VeranstaltungenIm Rahmen des Transfertages 2019 der TU Ilmenau war das CiS Forschungsinstitut als An-Institut vergangene Woche mit zwei Beiträgen vertreten
Mikrosensoren zur Messung der Vorspannkraft
/in Energie, Kraft, MEMS, VeranstaltungenAm CiS Forschungsinstitut werden siliziumbasierte MEMS-Sensoren zur Überprüfung sicherheitsrelevanter Schraubverbindungen entwickelt. Derartige Spezialschrauben können beispielsweise im Maschinenbau, in der Fördertechnik und in Windkraftanlagen eingesetzt werden
Siliziumbasierte Mikrosensoren für Industrie, Medizin- und Umwelttechnik
/in AVT, Druck, IR, Kraft, MEMS, MOEMS, Photonik, Quanten, Siliziumdetektoren, UV, VeranstaltungenAuf der Sensor+Test 2019 zeigt das CiS Forschungsinstitut aktuelle Entwicklungen und Forschungsergebnisse aus den Geschäftsfeldern MEMS, MOEMS und Siliziumdetektoren für Anwendungen in Industrie, Medizin- und Umwelttechnik