MEMS – Seite 4

Wasserstoff und Sensorik – Unsere Themen auf der Technologiekonferenz elmug4future 2024

15. Oktober 2024/in MEMS, Messtechnik, Veranstaltungen

Am 16. und 17. Oktober 2024 widmen sich Fachleute verschiedener Wissensgebiete auf der Technologiekonferenz elmug4future der Verwendung von Wasserstoff und damit verbundenen Herausforderungen für dessen sichere Nutzung. Dr. Heike Wünscher und Dr. Ingo Tobehn-Steinhäuser aus dem CiS Forschungsinstitut präsentieren in ihren Vorträgen aktuelle Sensorentwicklungen und Forschungsprojekte für Wasserstoff-Messtechnik

CiS Forschungsinstitut stellt auf der W3+ Fair aus

19. September 2024/in MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

In der Sparkassen-Arena Jena treffen sich am 25. und 26. September 2024 die Fachleute der Zukunftstechnologien in Mitteldeutschland. Auch das CiS Forschungsinstitut zeigt an seinem Stand F4b in Halle 2 aktuelle Forschungsergebnisse aus dem Bereich Optik und Photonik. Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMS, steht für Fragen rund um unsere Messehighlights zur Verfügung

Verminderung thermischer Einflüsse auf das Messsignal bei hybrid aufgebauten Sensoren

21. August 2024/in MEMS

Ziel des neuen Forschungsprojektes Flunder ist es zu untersuchen, wie durch geeignete Maßnahmen, eine minimale Temperaturabhängigkeit des Messsignals bei hybrid aufgebauten monokristallinen Silizium-Dehnungsmesssensoren (SiDMS) erreicht werden kann

Ultrakleine Drucksensoren auf der Basis von MSTS-Membranen

15. August 2024/in Druck, MEMS

Das gestartete Forschungsprojekt UDM zielt auf die Entwicklung und Prototypen-Fertigung von piezoresistiven Absolut-Drucksensoren mit ultrakleinen Abmessungen, aber dennoch sehr hohen Empfindlichkeiten auf der Basis von einkristallinen MSTS-Membranen

Projektstart BerNieDru – Entwicklung berstfester Niederdrucksensoren

7. August 2024/in Druck, MEMS, Simulation & Design

Im gestarteten Forschungsvorhaben BerNieDru soll ein piezoresistiver Drucksensor für den Druckbereich bis 2 mbar entwickelt werden, der durch eine Anpassung der Membrangeometrie bis zu einem Berstdruck von mindestens einem 1 bar belastbar ist

Ölfreie Differenzdrucksensoren für Anwendungen in der Lebensmittelindustrie

17. Juli 2024/in MEMS

Ziel des neuen Projektes „DMS in Keramik“ ist es, einen Prozess für einen Differenzdrucksensor mit einer medienbeständiger Biegeplatte aus Keramik und integriertem Si-DMS zu entwickeln. Durch eine vollständige Integration des Si-DMS während der Laminierung der Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCC) ist dieser hermetisch dicht eingeschlossen und geschützt vor mechanischer Manipulation

Entwicklung von Drucksensoren mit minimierter mechanisch bedingter Nichtlinearität

19. Juni 2024/in Analytik, Druck, MEMS, Simulation & Design

Im neu gestarteten Projekt M2NL analysiert ein Entwicklungsteam am CiS Forschungsinstitut Messdaten unterschiedlicher piezoresistiver Drucksensoren und möchte aus den Analyseergebnissen auf mechanische Parameter und deren Temperaturabhängigkeit zurückrechnen. Dabei sollen nichtlineare Effekte und deren Einfluss in der Simulation mit dem FEM-Tool ANSYS Multiphysics untersucht werden

Resiliente Sensoren auf dem Innovationstag Mittelstand

5. Juni 2024/in MEMS, Veranstaltungen

Auf dem Innovationstag Mittelstand präsentiert das CiS Forschungsinstitut am 13. Juni 2024 in Berlin die Ergebnisse des Forschungsprojektes „SiDMeses“. Ziel war hierbei die Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren zu verbessern. Dabei konzentrierten sich die Forschungsarbeiten darauf, Montagespannungen zu minimieren und hohe Überlastfestigkeiten zu erreichen

Highlights zur Sensor+Test 2024 in Nürnberg

30. Mai 2024/in MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Vom 11. bis 13.06.2024 freuen wir uns auf einen inspirierenden Dialog mit Ihnen auf unserem Messetand der SENSOR+TEST in Nürnberg. Wir präsentieren aktuelle Forschungsergebnisse in der Entwicklung sehr hochauflösender kapazitiver MEMS-Beschleunigungssensoren für Neigungs- bzw. Nivellierungsmessungen sowie spezieller Tandemdioden für ein kompaktes Stehende-Wellen-Interferometer. Zeitgleich findet die 22. GMA-Tagung statt. Hier stellt das CiS Forschungsinstitut ein Drucksensorkonzept auf Diamantbasis vor und referiert in einem 2. Vortrag über schnelle IR-MEMS-Strahler für NDIR-Anwendungen

Projektstart mMoDS – Modulare Modelle für piezoresistive Drucksensoren

22. Mai 2024/in Druck, MEMS

Für die Entwicklung von piezoresistiven Drucksensoren können verschiedene Simulationsmethoden eingesetzt werden. Ziel des gestarteten Forschungsprojekts mMoDS ist es, das Systemmodell durch modulare Teilmodelle zu beschreiben, um einen effizienten Designprozess unter Einbezug von verschiedenen Aufbau-Varianten sowie technologischen Varianten zu ermöglichen und so die Anzahl von detaillierten, rechenintensiven FEM-Simulationen zu reduzieren