MEMS – Seite 4

Highlights zur Sensor+Test 2024 in Nürnberg

30. Mai 2024/in MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Vom 11. bis 13.06.2024 freuen wir uns auf einen inspirierenden Dialog mit Ihnen auf unserem Messetand der SENSOR+TEST in Nürnberg. Wir präsentieren aktuelle Forschungsergebnisse in der Entwicklung sehr hochauflösender kapazitiver MEMS-Beschleunigungssensoren für Neigungs- bzw. Nivellierungsmessungen sowie spezieller Tandemdioden für ein kompaktes Stehende-Wellen-Interferometer. Zeitgleich findet die 22. GMA-Tagung statt. Hier stellt das CiS Forschungsinstitut ein Drucksensorkonzept auf Diamantbasis vor und referiert in einem 2. Vortrag über schnelle IR-MEMS-Strahler für NDIR-Anwendungen

Projektstart mMoDS – Modulare Modelle für piezoresistive Drucksensoren

22. Mai 2024/in Druck, MEMS

Für die Entwicklung von piezoresistiven Drucksensoren können verschiedene Simulationsmethoden eingesetzt werden. Ziel des gestarteten Forschungsprojekts mMoDS ist es, das Systemmodell durch modulare Teilmodelle zu beschreiben, um einen effizienten Designprozess unter Einbezug von verschiedenen Aufbau-Varianten sowie technologischen Varianten zu ermöglichen und so die Anzahl von detaillierten, rechenintensiven FEM-Simulationen zu reduzieren

Projektstart LaWaDos: Hochtemperaturoptimierte Kontaktmetallisierungen

30. April 2024/in Hochtemperatur, MEMS

Ziel des gestarteten Forschungsprojekts LaWaDos ist die Herstellung von hochtemperaturstabilen Kontaktmetallisierungen für Drahtbondkontakte an Sensorelementen, die eine bessere Überwachung thermischer Prozesse erlauben

Packaging Technologie für thermische Fluss-Sensoren

12. April 2024/in AVT, Medizintechnik, MEMS, Wasserstoff

Das neu gestartete Projekt Pack-Flu befasst sich mit dem Entwurf, der Realisierung und Charakterisierung einer robusten und innovativen Packaging-Plattform für kostengünstige mikrokalorimetrische Durchflusssensoren auf MEMS-Basis für den Einsatz in Gasleitungen oder Lüftungssystemen. Die Plattform dient als skalierbare Grundlage für Fluss-Sensoren zur Analyse und Steuerung von Luftströmung, Wasserstoff und anderen nicht-aggressiven Gasen mit bekannter Strömungsrichtung (z.B. in Pipelines) mit hoher Genauigkeit

MEMS-Pirani-Sensor für das Fein- und Hochvakuum

4. April 2024/in Druck, MEMS

Mit dem Vorhaben MinerVa startet das CiS Forschungsinstitut die Entwicklung eines MEMS-Pirani-Sensors für Druckmessung im Fein-Hochvakuumbereich. Die Anwendungsmöglichkeiten sind vielseitig, beispielsweise bei der Herstellung dünner funktionaler Schichten mittels physikalischer Dampfphasenabscheidung (PVD)

High-End-Beschleunigungssensoren

27. März 2024/in MEMS

Das Projekt beschäftigte sich mit der Entwicklung von kapazitiven Beschleunigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ auf der Basis von Chip-Level-Prozessen. Hauptmerkmale sind eine deutlich erhöhte seismische Masse, ein lateral angeordneter Differenzkondensator, sowie ein hermetisches Package

Photoakustischer Gassensoren mit Referenzgassensor

13. März 2024/in MEMS

Im Mittelpunkt des abgeschlossenen Forschungsprojekts PAS stand die Entwicklung einer piezoresistiven Mikrofonkomponente auf Basis von mikromechanischen Systemen (MEMS) für hoch integrierte photoakustische Gassensoren. Der Sensor ist für einen Einsatzbereich von -40⁰C bis 140⁰C geeignet. Anwendungen liegen Bereich des Klima- und Umweltschutzes zur Verbesserung des Energiemanagements, der Prüfung der Luftqualität oder in der Medizintechnik als hochsensitive Atemgas-Sensoren.

NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors

10. Januar 2024/in Automotive, Kraft, Medizintechnik, MEMS

Im Rahmen des ZIM-Kooperationsprojektes NanoSense entwickelte das CiS Forschungsinstitut gemeinsam mit zwei weiteren Partnern einen Messkopf zur Härtemessung zur Integration in Universalprüfmaschinen und xy-Manipulatoren, bei welchem Messtrecke und Messkraft auf einer Linie liegen

Entwicklung innovativer Fügetechnologien zum Aufbau hochstabiler Druckmessumformer (EFAH)

30. November 2023/in Druck, MEMS

Um die Performance von piezoresistiven Drucksensoren zu verbessern, wurden im abgeschlossenen Forschungsprojekt EFAH verschiedene Fügetechnologien entwickelt, die besonders die kritischen Verbindungen zwischen Wandlerkern und elektrisch-mechanischem Prozessanschluss betrachten. Hierbei zeigten Glaslote deutliche Vorteile

GREAT H2 Abschlusskonferenz und grüner Wasserstoff in der Industrie

21. November 2023/in Druck, MEMS, Veranstaltungen, Wasserstoff

Im Rahmen der GREAT H2 Abschlusskonferenz präsentiert das CiS Forschungsinstitut Sensorentwicklungen zur industriellen Anwendung von grünem Wasserstoff. Dr. Klaus Ettrich, Geschäftsfeldleiter MEMS am CiS Forschungsinstitut, erläutert in seinem Pitch sensorische Lösungen für eine sichere Nutzung entlang der gesamten Wertschöpfungskette von „Grünem Wasserstoff“. In der Fachausstellung werden Demonstratoren aus entsprechenden Forschungsprojekten gezeigt