Micro-Electro-Mechanical Systems sind Bestandteil vieler Alltagsprodukte. Meist bestehen sie aus Silizium und Basis innovativer Lösungen in der Elektronik. Die Einsatzgebiete sind breit gefächert und erstrecken sich von Sensoren für die Überwachung von Industrieanlagen, über medizinische Anwendungen bis zu Sensorlösungen für die Mobilität, im Consumer Bereich sowie in der Wissenschaft. In zunehmendem Maße sind Fragen der Langzeitstabilität, des Einsatzes unter rauen Umgebungsbedingungen sowie einer innovativen Aufbau- und Verbindungstechnik relevant.
Im Workshop „Maßgeschneiderte MEMS-Sensoren für Anwendungen in der Wissenschaft, Industrie 4.0, Automotive und Mobilität“ werden Trends und aktuelle Ergebnisse aus Forschung, Entwicklung und Anwendung für siliziumbasierte MEMS-Sensoren vorgestellt. Ebenso wird die Umsetzung kundenspezifischer Anforderungen bis hin zur Charakterisierung beleuchtet.
