Die Referenten Dr. Klaus Ettrich, Sebastian Pobering und Michael Blech hielten am 21. Oktober ein Webinar zum Thema „Piezoresistive Siliziumdrucksensoren für höhere Einsatztemperaturen bis ca. 300°C“. Im knapp 45-minütigen Webinar gab es eine Einführung in Aufbau und wesentliche Eigenschaften dieser Sensorart, im zweiten Teil wurden Lösungen für die Erweiterung des Einsatztemperaturbereiches bis ca. 300°C vorgestellt.
Zum Thema: Siliziumbasierte piezoresistive Drucksensoren besitzen aufgrund ihrer sehr guten Sensoreigenschaften hinsichtlich hoher Linearität, geringer Hysterese sowie sehr guter Langzeitstabilität ein breites Anwendungsspektrum im Bereich Prozessmesstechnik, Automotive, Medizin sowie Forschung und Entwicklung. Der Einsatztemperaturbereich ist dabei bei mit konventioneller Technologie gefertigten Sensoren auf ca. 130°C begrenzt. Durch Anpassung von Chipdesign und Halbleitertechnologie ist das CiS Forschungsinstitut ist in der Lage, piezoresistive Drucksensorchips für Einsatztemperaturen bis 300°C zu entwickeln und zu fertigen.
Weitere Themen zu unseren Entwicklungen und aktuellen Forschungsergebnissen sind in der Planung. Seien Sie gespannt!
Mitschnitt des Webinars
Hier finden Sie einen Mitschnitt des Webinars, so wie es für die Teilnehmer zu sehen war.
