Auch in diesem Jahr finden drei Workshops zu siliziumbasierter Sensorik und damit verbundenen, aktuellen Forschungsergebnissen und neusten Trends innerhalb der einzelnen Schwerpunktthemen. Die Workshops finden als Hybridveranstaltung im großen Konferenzraum am CiS Forschungsinstitut in Erfurt statt. Veranstalter ist der CiS e.V.
Der erste dieser drei Workshops stand unter dem Motto „Moderne Analytik für innovative und nachhaltige Sensorik & Materialwissenschaft“ und beleuchtete am 6. Juni 2023 aktuelle Ergebnisse aus Forschung und Entwicklung in der modernen Analytik für die Halbleiterindustrie. Die Entwicklung anspruchsvoller neuer Sensoren und Materialien verlangt stets ein genaues Verständnis der Material- beziehungsweise Bauteiloberflächen. Wie ist die physikalische und chemische Beschaffenheit des Bauteils, wie verändert es sich durch Nutzung, wie steht es um die Umweltverträglichkeit oder die Qualität und Kontrolle zugrunde liegender Herstellungsprozesse? Auf diese Fragen liefert eine Oberflächenanalytik die Antworten.
In dem hybrid gestalteten Workshop wurden verschiedene Untersuchungsmethoden der Oberflächenanalytik sowie weiterer Spezialverfahren vorgestellt und anhand aktueller Beispiele aus Forschung und Entwicklung deren Anwendungen und Potential aufgezeigt. Eingeleitet wurde der Workshop durch Prof. Christoph Gerhardt von der HAWK Göttingen mit dem Vortrag „Kalibrationsfreie Untersuchung mittels laserinduzierter Plasmaspektroskopie (LIBS) zur Quantifizierung von Spurenelementen in Gläsern“.
Einen Schwerpunkt des Workshops bildete die Analyse von Materialen mittels Sekundärmassenspektroskopie (SIMS), welche im CiS Forschungsinstitut verfügbar ist. Nach einer kurzen Einleitung, erläuterte Dr. Stefanie Reiß, verantwortlich für die SIMS im CiS Forschungsinstitut, Untersuchungsergebnisse für quantentechnologischen Anwendungen. Hier stand vor allem die Untersuchung von Defekten im Diamantkristallgitter und deren Auswirkungen. Die SIMS ist beispielsweise eine der leistungsfähigsten Analysemethoden zur genauen Bestimmung sehr geringer Stickstoffkonzentrationen in Diamanten.
In seinem Vortrag „10 Jahre ASi-Sii-Defekt“ erörterte Dr. Kevin Lauer aus dem CiS Forschungsinstitut die analytischen Durchbrüche, die wesentlich zum Verständnis dieser Defektkategorie in Siliziumbauelementen beigetragen haben.
Das Unternehmen nano analytik GmbH stellte erste Ergebnisse der Kooperation mit dem CiS Forschungsinstitut vor, die im Rahmen der beiden vom BMBF-geförderten Kooperationsprojekte „DiaQuantFab“ und „DiaTip“ erarbeitet wurden.
Führungen durch das Analytik-Kompetenzzentrum im CiS Forschungsinstitut begleiteten den Workshop und trugen zu regem Gedanken- und Erfahrungsaustausch bei.
Zwei weitere Workshops sind für den Herbst geplant.
Am 12. September 2023 beschäftigt sich der Aufbau- und Verbindungstechnik-Workshop mit aktuellen Entwicklungen in der Hybrid- und Waferlevel-Montage. Der Simulation-und-Design-Workshop am 26. September 2023 stellt Modellierung in der Mikrosystemtechnik in den Fokus. Noch sind einzelne Slots frei und Anmeldungen bereits möglich.
Das Verbundprojekt „DiaQuantFab – Standardisierungen in der Herstellung und Verarbeitung von Quantenmaterialien am Beispiel von NV-Farbzentren in Diamant zur Realisierung eines hochpräzisen auf Quanteneffekten beruhenden Amperemeters“ wurde durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) im Call „Schlüsseltechnologien für die Quantensensorik“ zur Förderung ausgewählt.
FKZ: 13N14984
Das Verbundprojekt „DiaTip – Aktive Rastersonden auf Diamantbasis für die QUANTENMETROLOGIE und Nanofabrikation (DiaTip)- Teilvorhaben: Entwicklung hybrider Aufbauverfahren“ wurde durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) im Call „KMU-innovativ- Verbundprojekt“ zur Förderung ausgewählt.
FKZ: 13N16579
