Hochempfindlicher Sensor für Messung von Schichtspannung in biologischen Schichten und sensitiven Schichten zur Wasserstoffdetektion
Unter der Kurzbezeichnung Nanolever startete kürzlich im CiS Forschungsinstitut ein Projekt mit dem Ziel, einen Sensor zur Bestimmung der Schichtspannung herzustellen. Eine Reihe von Messverfahren verwendet die Schichtspannung als physikalisches Prinzip. Hierbei wird technisch die Verformung eines Biegebalkens auf Grund der Spannungsunterschiede eines Bimorphs ausgenutzt
