Hochstabile Temperaturdioden mit Einpunktkalibrierung für den Temperaturbereich bis 220°C
Im CiS Forschungsinstitut wurden technologische Prozesse für Siliziumwafer entwickelt, mit denen eine reproduzierbare Empfindlichkeit dU/dT, also die Steigung der Spannung über der Temperatur erreicht werden konnte
Lange Nacht der Wissenschaften im CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik
Bereits zum 4. Mal beteiligt sich das im Südosten der Stadt Erfurt gelegene Forschungsinstitut an der Erfurter Wissenschaftsnacht. Am 06.11.2015 stellen Wissenschaftler und Ingenieure ihre Forschungsergebnisse und Anwendungen vor
Mikro-Laser-Doppler Sensoren für Blutflussmessungen
Das CiS Forschungsinstitut startet Entwicklungen zu einem miniaturisierten optischen Sensor für Untersuchungen der Blutflussgeschwindigkeit in der Haut. Das Sensorprinzip basiert auf dem Laser-Doppler-Verfahren. Dabei erfolgt durch elastische Streuung an den beweglichen Blutbestandteilen eine Verschiebung der Lichtwellenlänge, die durch kohärente Überlagerung mit dem Anregungslicht messbar wird
Kundenspezifische piezoresistive Mikrotaster
Das CiS Forschungsinstitut entwickelt verschiedene miniaturisierte Taster aus einkristallinem Silizium mit integrierter piezoresistiver Messbrücke für die schnelle Inline-Qualitätskontrolle von Bauelementen unterschiedlichster Materialien. Hohe Abtastraten werden dabei durch eine sehr geringe Antastkraft, eine hohe Eigenfrequenz (3…5 kHz), sowie eine sehr kleine Masse (≈0,1 mg) ermöglicht
Optische Mikrosensoren für die Messung von Pulskontur und Herzratenvariabilität
Das CiS Forschungsinstitut stellt auf der SENSOR+TEST 2015 multispektrale Photoplethysmographie-Sensoren für Anwendungen in der Schmerztherapie vor.
Ein mobiles Biofeedback-System, welches im äußeren Gehörgang gemessene Vitalparameter des Patienten aufnimmt und diese mit Hilfe einer Smartphone-App weiterverarbeitet
Miniaturisierte Dehnungselemente aus Silizium
Für Präzisionskraftmessungen in medizintechnischen Applikationen hat das CiS Forschungsinstitut aus Erfurt Silizium-Dehnmessstreifen (Si-DMS) mit integrierter Messbrücke entwickelt. Durch die Verwendung von Halbleitertechnologien wird eine höhere Langzeitstabilität, Präzision und Messsicherheit im Vergleich zu duktilen Metall-DMS erreicht
Mikro-Laserbeleuchtung für die Analytik
Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH zeigt auf der Fachmesse Sensor+Test eine Mikro-Laserbeleuchtung für die Analytik: Laserlicht hat besondere Eigenschaften. Sein Strahl lässt sich eng über weite Entfernungen führen und sein Spektrum ist sehr rein. Diese Eigenschaften werden mit der Mikro-Laserbeleuchtung für kleine Sensoren nutzbar gemacht
Piezoresistive Hochtemperatur-Druckwandlerkerne
Die hochpräzise Prozessmesstechnik steht mit Einsatztemperaturen von bis zu 300°C vor neuen Herausforderungen. Anlagen- und Messtechnikproduzenten wollen mit MEMS-basierten Druckwandlerkernen Funktionserweiterungen und neue Gestaltungsräume erschließen.
Die passenenden Mikrosystemtechnologien dazu hat jetzt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik aus Erfurt entwickelt
Thüringen beteiligt sich an Europäischem Netzwerk zur Produktion smarter Systeme
Das EU-Projekt SMARTER-SI soll europaweit eine neuartige Fertigungsplattform für Mikrosysteme anbieten, auf der innovative und intelligente Sensorsysteme in kleinen und mittleren Stückzahlen kostengünstig gefertigt werden können. Spezielle Technologien für die Herstellung mechanischer und optischer Sensoren aus Silizium, kurz MEMS und MOEMS, kommen vom CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik aus Erfurt
Kompakter Brechungsindex- und Schichtdicken-Sensor
Qualitätsbewertung und Prozesskontrolle sind wichtige Werkzeuge bei der Produktion qualitativ hochwertiger Erzeugnisse. Bei der Oberflächenbeschichtung ist es erforderlich, wesentliche Eigenschaften der aufgebrachten Schichten zu bestimmen. Dies schließt die Schichtdicke und den Brechungsindex ein.
Der im CiS Forschungsinstitut entwickelte kompakte Sensor misst die polarisationsabhängige Reflexion von zwei verschiedenen Single-Mode-Lasern unter geneigten Einfallswinkeln
