Siliziumdetektor für Elektronen mit Energien von 1 keV
Erhöhung der Quanteneffizienz von Siliziumdioden in Rasterelektronenmikroskopen – Im Forschungsprojekt SiekeV wird an der Verbesserung von Rasterelektronenmikroskopen zur Analyse oberflächennaher Strukturen gearbeitet. Durch die Detektion niederenergetischer Elektronen sind sehr oberflächensensitive REM-Aufnahmen möglich

