Workshop „Maßgeschneiderte MEMS-Sensoren für Anwendungen in Wissenschaft, Industrie4.0, Automotive und Mobilität“ am 21.05.2019 in Erfurt
Im Workshop „Maßgeschneiderte MEMS-Sensoren für Anwendungen in der Wissenschaft, Industrie 4.0, Automotive und Mobilität“ werden Trends und aktuelle Ergebnisse aus Forschung, Entwicklung und Anwendung für siliziumbasierte MEMS-Sensoren vorgestellt

