Siliziumdehnmessstreifen (Si-DMS) bieten zahlreiche hervorragende Eigenschaften. Um die Temperaturbeeinflussung zu verringern oder zu kompensieren wurden auf dem gleichen Chip auch Temperaturmesswider-stände, Temperaturdioden sowie bipolare Transistoren integriert. Mit den on-chip pnp-Transistoren konnten temperaturkompensierte Sensoraufbauten realisiert werden
Am 23. Februar 2026 startet in Nürnberg die ENFORCE TAC, Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung. Das CiS Forschungsinstitut ist erstmalig mit einer Fläche vertreten und zeigt in Halle 6, Stand 6-215, dem Gemeinschaftsstand der LEG Thüringen, relevante Entwicklungsergebnisse wie ein mobiles Vitalsensorsystem, kundenspezifische Fotodiodenmodule für Laser-Warnsysteme oder auch ein Nachrüstsatz zur nichtinvasiven Druckmessung sowie Sensoren zur Riemenspannungsüberwachung
Im Projekt KTB wurden für die Simulation der Kennlinien vom MEMS-Bauelementen verschiedene Programme zu einem komplexen Simulationstool für die Entwicklung hochpräziser und langzeitstabiler Drucksensoren zusammengeführt, sodass ein durchgehender Simulationsablauf möglich ist
In dem neuen Forschungsprojekt „ZEBA“ wird nach Bild-Eigenschafts-Beziehungen geforscht und ein KI-gestützter Prozessablauf erarbeitet, der in den Fertigungsprozess integrierbar ist und zerstörungsfrei Aussagen über den Erwartungswert des Berstdruckes des Einzelchips liefert
Heute startet in Düsseldorf die COMPAMED, eine internationale Leitmesse für den medizinischen Zuliefererbereich. Das CiS Forschungsinstitut ist im Rahmen des Gemeinschaftsstand des IVAM in Halle 8a, Stand F35-2 vertreten. Noch bis Donnerstag, den 20. November 2025 kommen Fachleute für den medizinischen Zulieferbereich zusammen, um Bauteile, Komponenten für medizinische Geräte, Ausrüstungen zu präsentieren und High-Tech Lösungen zu diskutieren.
Am 12. und 13.November 2025 findet die 24. Präzisionsmesse „Precision Fair“ in den Brabanthallen ’s-Hertogenbosch statt. Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik ist auf dem Gemeinschaftsstand der LEG -Thüringen in Halle 6 Stand 202 erstmals als Aussteller mit dabei
In dem Forschungsprojekt ADAM sollen durch den Einsatz glaskeramischer Komponenten, Eigenschaften von Drucksensoren wie beispielsweise chemische Beständigkeit oder die Einsatztemperatur verbessert werden. Voraussetzung ist hierfür die Optimierung der Fügetechniken, die umfassend getestet werden
Das neue Forschungsvorhaben PaRiS legt den Fokus auf die Entwicklung technologischer Komplexe zur Herstellung von Resonatorstrukturen für resonante Sensoren auf Basis polykristallinen Siliziums für den Einsatz als Drucksensor
Mit der erfolgreichen Entwicklung eines siliziumbasierten Hochdrucksensors mit frontbündigem Medienkontakt für einen Messbereich bis 300 MPa wurde das ambitionierte Ziel des Forschungsprojekts erreicht. Gerade der frontbündige Medienanschluss macht den Sensor ideal für sensible Bereiche mit strengen Hygienebestimmungen, etwa in der Lebensmittelindustrie oder Pharmazie
Im Projekt OTB verfolgten die Wissenschaftler des CiS Forschungsinstituts das Ziel, für hochstabile und hochgenaue piezoresistive Widerstandsbrücken, die aus in einkristallinem Silizium implantierten Widerstandsbahnen mit einem hohen Temperaturkoeffizienten bestehen, die Querempfindlichkeit zu verringern bzw. zu optimieren
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