Das EU-Projekt SMARTER-SI soll europaweit eine neuartige Fertigungsplattform für Mikrosysteme anbieten, auf der innovative und intelligente Sensorsysteme in kleinen und mittleren Stückzahlen kostengünstig gefertigt werden können. Spezielle Technologien für die Herstellung mechanischer und optischer Sensoren aus Silizium, kurz MEMS und MOEMS, kommen vom CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik aus Erfurt
Hohe Abtastraten und geringe Antastkraft verbindet ein neuer miniaturisierter Taster aus einkristallinem Silizium mit integrierter piezoresistiver Messbrücke. Die kraftabhängige Auslenkung bewirkt eine Änderung der mechanischen Spannung, welche piezoresistiv ausgewertet wird
Das Projekt HotDru befasst sich mit der Entwicklung serienfertigungstauglicher Hochtemperaturdrucksensorsysteme mit einer Einsatztemperatur von bis zu 300°C. Die neu entwickelten Drucksensorchips werden in verschiedenen Versionen realisiert, die als Grundaufbau alle auf dem „Silicon on Insulator“ (SOI)-Prinzip beruhen
Hohe Abtastraten und geringe Antastkraft verbindet ein neuer miniaturisierter Taster aus einkristallinem Silizium mit integrierter piezoresistiver Messbrücke. Robust gegenüber unterschiedlichen Umgebungseinflüssen schließt der Sensor eine Lücke zwischen AFM und einem klassischen Tastschnittgerät
Der Mikrotaster aus Silizium, hergestellt im CiS Forschungsinstitut, mit einer Masse von nur wenigen Mikrogramm, verfügt über einen hohen Dynamikbereich. Ausgestattet mit einer schnellen Digitalschnittstelle erfasst der taktile Taster problemlos die Messwerte in wenigen Minuten.
Auf dem IVAM-Produktmarkt „High-tech for Medical Devices“ zeigt das CiS Forschungsinstitut neue Ergebnisse aus Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der medizinischen Mikrosystemtechnik
Ein miniaturisierter Kraftsensor misst die Kräfte an Katheterspitzen, die beim Einführen zwischen Führungsdraht (Katheter) und Blutgefäßen auftreten. Der Mini-Chip KASYS, nur 200 x 220 x 640 µm groß und damit gerade mal doppelt so breit wie ein Haar, ist das Herzstück eines haptischen Assistenzsystems, das zukünftig die Katheterisierungen in der Medizin vereinfacht und die Verletzungsgefahr verringert
Mittels MEMS-Wafertechnologien und einem Silizium-Photodiodenarray mit eingebetteter Laserlichtquelle (naked VCSEL) ist es dem CiS Forschungsinstitut gelungen, die komplette optische Abtastung der druckempfindlichen, Membran (Silizum) in einem sehr flachen Bauraum – vergleichbar mit kapazitiven oder piezoresistiven Sensoren – zu integrieren
Mikrostrukturierte Reaktoren halten seit mehreren Jahren erfolgreich Einzug in die Labore und Produktionsanlagen der Groß- und Feinchemie sowie der Medizin. Weltweite Forschungsaktivitäten zeigen eindrucksvoll, dass sich durch den Einsatz der mikroverfahrenstechnischen Komponenten eine Vielzahl von reaktionstechnischen Vorteilen in chemischen Prozessen erzielen lassen
Das Niedertemperatur-Silizium-Direkt-Bonden hat in den letzten Jahren deutlich an Bedeutung gewonnen. Es eröffnet neben den Möglichkeiten der vertikalen Integration neue prozesstechnische Möglichkeiten durch die Anwendung des Waferlevel Packaging als Postprozess in der Sensorfertigung
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