Das neue Forschungsvorhaben PaRiS legt den Fokus auf die Entwicklung technologischer Komplexe zur Herstellung von Resonatorstrukturen für resonante Sensoren auf Basis polykristallinen Siliziums für den Einsatz als Drucksensor
Experten aus Forschung und Industrie trafen sich am 17. September 2025 in Erfurt, um aktuelle Themen und Innovationen der siliziumbasierter MEMS-Technologien zu diskutieren. Die spannenden Beiträge aus Industrie und Wissenschaft gaben Anregungen für intensive Pausengespräche und neue Kontakte. Der Workshop bestätigte zum wiederholten Mal die Bedeutung von MEMS-Technologien für zukünftige industrielle Entwicklungen und zeigte konkrete Anwendungen
Unter dem Motto „Digitaler Zwilling in eine zukunftsfähige Produktion“ trafen sich am 27. August 2025 Vertreter aus Wirtschaft, Forschung und Politik im Comcenter Brühl zum 17. Erfurter TechnologieDialog.
In der begleitenden Ausstellung präsentiert das CiS Forschungsinstitut einen Teil seines Forschungs- und Leistungsportfolios sowie Ergebnisse aus dem Forschungsprojekt FIRE
Mit der erfolgreichen Entwicklung eines siliziumbasierten Hochdrucksensors mit frontbündigem Medienkontakt für einen Messbereich bis 300 MPa wurde das ambitionierte Ziel des Forschungsprojekts erreicht. Gerade der frontbündige Medienanschluss macht den Sensor ideal für sensible Bereiche mit strengen Hygienebestimmungen, etwa in der Lebensmittelindustrie oder Pharmazie
Im Projekt OTB verfolgten die Wissenschaftler des CiS Forschungsinstituts das Ziel, für hochstabile und hochgenaue piezoresistive Widerstandsbrücken, die aus in einkristallinem Silizium implantierten Widerstandsbahnen mit einem hohen Temperaturkoeffizienten bestehen, die Querempfindlichkeit zu verringern bzw. zu optimieren
Mit der International Superconductive Electronics Conference (ISEC) startete am Montag die alle zwei Jahre stattfindende wissenschaftliche Konferenz in Erfurt, welche weltweite Experten auf dem Gebiet der supraleitenden Elektronik in einem Forum zusammenbringt. Bis Donnerstag gastiert die internationale Veranstaltungsreihe im Radisson Blu Hotel Erfurt und deckt zentrale Zukunftsthemen ab, etwa Quantencomputer sowie energieeffiziente Elektronik, und bietet Forum für Innovationen in Wissenschaft und Industrie
Ab morgen wird das CiS Forschungsinstitut erstmalig auf der EPHJ, einer internationalen Fachmesse für Hochpräzision in Genf sein Portfolio vorstellen. Bis zum 6. Juni 2025 präsentieren wir am Stand J122 in den Hallen der Palexpo in Genf unsere siliziumbasierten Sensortechnologien und Kompetenzen im Bereich MEMS sowie MOEMS einem internationalen Fachpublikum
Beim Besuch von Studierenden der KOMET (Konferenz der Medizintechnik-Fachschaften aus dem deutschsprachigen Raum) am 26.05.2025 konnten diese einen kleinen Einblick in unsere faszinierende Welt der Mikrosensorik werfen. Geschäftsfeldleiter MEMS, Dr. Klaus Ettrich, stellte ein ausgewähltes Spektrum der Sensorentwicklung für medizinische Anwendungen vor. Für Begeisterung und Praxisnähe sorgte Dr. Bernd Hähnlein am Rasterelektronenmikroskop des CiS Analytik Kompetenzzentrums mit feinsten Strukturen, die für bloße Augen unsichtbar sind
Am 20. Mai 2025 gewährt Dr. Klaus Ettrich um 15:15 Uhr im Rahmen des Panels „Smarte Materialien“ Einblicke in aktuelle Forschungsergebnisse zum Thema „Halbleiterbauelemente bei kryogenen Temperaturen für die Anwendung von Wasserstoff“
Parallel zur Messe Sensor+Test in Nürnberg vom 06.05.-08.05.2025 findet die 3. Sensor and Measurement Science International (SMSI) Konferenz im KongressCenter Nürnberg statt. Das CiS Forschungsinstitut ist mit 9 wissenschaftlichen Beiträgen vertreten.
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