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Archiv für die Kategorie: MEMS

Sie sind hier: Startseite1 / MEMS

Sensitive Unterlegscheibe erfasst Klemmkraft von Schraubverbindungen

2. Juni 2021/in Kraft, MEMS

Zur Messung von Klemmkräften bei sicherheitsrelevanten Schraubverbindungen entwickelte das CiS Forschungsinstitut eine sensitive Unterlegscheibe einschließlich eines Messverfahrens zum Nachweis und Testen

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-06-02-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-06-02 10:38:232021-06-02 10:42:19Sensitive Unterlegscheibe erfasst Klemmkraft von Schraubverbindungen

Neuartige Gravitationssensoren zur hochgenauen Erkundung der geologischen Gegebenheiten der Erdoberfläche [Video]

25. Mai 2021/in MEMS, Quanten, Waferprozessierung

Im Rahmen des Projektes M-Gravi entwickelt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik neuartige Gravitationssensoren zur hochgenauen Erkundung der geologischen Gegebenheiten der Erdoberfläche. Die Sensoren bestehen aus vier einzelnen Siliziumwafern und nutzen eine Stapeltechnologie auf Wafer-Level

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-05-25-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-05-25 13:27:002021-05-26 14:12:18Neuartige Gravitationssensoren zur hochgenauen Erkundung der geologischen Gegebenheiten der Erdoberfläche [Video]

Zweites Online-Webinar erfolgreich – Weitere Themen geplant [Video]

4. Mai 2021/in AVT, Kraft, MEMS, Veranstaltungen

Unser zweites Online-Webinar zum Thema „Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren“ am 20.04.2021 war ein voller Erfolg. Die Referenten Dr. Klaus Ettrich, Geschäftsfeldleiter MEMS, Dr. Thomas Frank, Fachbereichsleiter MEMS, sowie André Grün, Entwicklungsingenieur Aufbau- und Verbindungstechnik, präsentierten MEMS-basierte piezoresistive Kraftsensoren zur Überwachung von Vorspannkräften oder zum Monitoring von Kontaktkräften

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-05-04-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-05-04 08:18:002021-11-04 10:48:39Zweites Online-Webinar erfolgreich – Weitere Themen geplant [Video]

Fachmesse Sensor+Test und Kongress SMSI

30. April 2021/in Druck, Kraft, MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Kommende Woche starten die Messe SENSOR+TEST 2021 sowie der begleitende internationale Fachkongress SMSI 2021. Beide Veranstaltungen finden online statt und das CiS Forschungsinstitut ist mit einer digitalen Präsenz und einem Vortrag vertreten. Sichern Sie sich Ihr kostenfreies Online-Ticket

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-04-30-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-04-30 07:53:002021-05-05 13:50:35Fachmesse Sensor+Test und Kongress SMSI

Photoakustische Gassensoren auf Basis von Wafer-Level-Packaging

22. April 2021/in MEMS, Waferprozessierung

Photoakustische Sensoren messen hochempfindlich Kohlendioxid und Stickoxide. Zunehmend werden andere Gase wie Methan, Ammoniak, Ethylen oder auch Gaslecks bei Pipelines detektiert. Das CiS Forschungsinstitut startet im Projekt PAS die Entwicklung eines integriert herstellbaren photoakustischen Gassensors auf Basis von NDIR-Sensoren

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-04-22-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-04-22 15:11:002021-04-26 15:31:39Photoakustische Gassensoren auf Basis von Wafer-Level-Packaging

Mit Messestand auf der HM21 Digital Edition

12. April 2021/in Druck, Kraft, MEMS, MOEMS, UV, Veranstaltungen

In dieser Woche präsentieren wir auf der HM21 Digital Edition aktuelle Forschungsthemen und Projektergebnisse in der Entwicklung siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-04-12-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-04-12 10:40:002022-08-22 08:48:46Mit Messestand auf der HM21 Digital Edition

Erster Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS

25. März 2021/in AVT, MEMS, Veranstaltungen, Waferprozessierung

Der 1. Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS findet am 7. April 2021 als kostenfreie online-Veranstaltung statt. Vom Gastgeber TU Ilmenau organisiert sind von 9:00 bis 16:30 Uhr Gäste und Interessenten herzlich willkommen. Das CiS Forschungsinstitut beteiligt sich in zwei Projekten an der Entwicklung einer innovativen Multisensorplattform für die Erfassung Sensorinformationen in anspruchsvollen Umgebungen

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-03-25-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-03-25 14:35:002021-03-30 14:49:09Erster Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS

H2MEMS – Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von siliziumbasierten MEMS-Sensorstrukturen

12. März 2021/in Druck, Energie, MEMS

Als Spezialist für die Entwicklung siliziumbasierter Drucksensoren entwickelt und testet das CiS Forschungsinstitut im Projekt H2MEMS mit den Partnern Palladium-beschichtete MEMS-Strukturen. Die Volumenausdehnung von Palladium bei der Wasserstoffeinlagerung wird dabei als Messprinzip erprobt

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-03-12-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-03-12 07:30:002021-03-30 07:41:16H2MEMS – Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von siliziumbasierten MEMS-Sensorstrukturen

NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors

24. Februar 2021/in Kraft, MEMS

Für die Bestimmung der Oberflächenhärte im Nanometerbereich wird im gerade gestarteten Projekt „NanoSense“ ein neuer Messkopf aus der Kombination eines Kraft- und Wegsensors entwickelt. Er soll modular an gängige Universalprüfmaschinen und XY-Achsen Manipulatoren angeschlossen werden

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-02-24-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-02-24 15:45:122021-02-24 15:48:15NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors

Webinar mit Live-Demo: Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren

17. Februar 2021/in AVT, Kraft, MEMS, Veranstaltungen

MEMS-basierte piezoresistive Kraftsensoren können zur Überwachung von Vorspannkräften oder zum Monitoring von Kontaktkräften eingesetzt werden. Unser Webinar geht auf die technischen Grundlagen solcher Sensoren ein und wir zeigen Ihnen einige Demonstratoren von uns entwickelter Silizium-Dehnmessstreifen (Si-DMS)

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-02-17-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-02-17 15:21:002021-02-24 15:35:14Webinar mit Live-Demo: Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren
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  • Mikrosensorik mit Praxisbezug – Medizintechnik-Fachschaften besuchen das Forschungsinstitut

    30. Mai 2025
  • Wirtschaftsstaatssekretär Mario Suckert besucht das CiS Forschungsinstitut

    21. Mai 2025
  • Freezing-out-Effekt – Vortrag auf der microTEC Clusterkonferenz 2025

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  • Quantum Photonics feiert Premiere in Erfurt – CiS Forschungsinstitut dabei

    12. Mai 2025
  • ISEC 2025 – Vollständiges Programm mit Keynote-Speakern verfügbar

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