Mit Messestand auf der HM21 Digital Edition
In dieser Woche präsentieren wir auf der HM21 Digital Edition aktuelle Forschungsthemen und Projektergebnisse in der Entwicklung siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte
Erster Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS
/in AVT, MEMS, Veranstaltungen, WaferprozessierungDer 1. Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS findet am 7. April 2021 als kostenfreie online-Veranstaltung statt. Vom Gastgeber TU Ilmenau organisiert sind von 9:00 bis 16:30 Uhr Gäste und Interessenten herzlich willkommen. Das CiS Forschungsinstitut beteiligt sich in zwei Projekten an der Entwicklung einer innovativen Multisensorplattform für die Erfassung Sensorinformationen in anspruchsvollen Umgebungen
H2MEMS – Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von siliziumbasierten MEMS-Sensorstrukturen
/in Druck, Energie, MEMSAls Spezialist für die Entwicklung siliziumbasierter Drucksensoren entwickelt und testet das CiS Forschungsinstitut im Projekt H2MEMS mit den Partnern Palladium-beschichtete MEMS-Strukturen. Die Volumenausdehnung von Palladium bei der Wasserstoffeinlagerung wird dabei als Messprinzip erprobt
NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors
/in Kraft, MEMSFür die Bestimmung der Oberflächenhärte im Nanometerbereich wird im gerade gestarteten Projekt „NanoSense“ ein neuer Messkopf aus der Kombination eines Kraft- und Wegsensors entwickelt. Er soll modular an gängige Universalprüfmaschinen und XY-Achsen Manipulatoren angeschlossen werden
Webinar mit Live-Demo: Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren
/in AVT, Kraft, MEMS, VeranstaltungenMEMS-basierte piezoresistive Kraftsensoren können zur Überwachung von Vorspannkräften oder zum Monitoring von Kontaktkräften eingesetzt werden. Unser Webinar geht auf die technischen Grundlagen solcher Sensoren ein und wir zeigen Ihnen einige Demonstratoren von uns entwickelter Silizium-Dehnmessstreifen (Si-DMS)
AmmoniaSense – Entwicklung eines InLine-Messsystems mit Hilfe eines innovativen Ammoniaksensors
/in Energie, MEMSZiel des neu gestarteten ZIM-Kooperationsprojektes AmmoniaSense ist die Erfassung der Ammoniakkonzentration mit einem stationären Inline-Messsystem, um damit Biogasanlagen optimal zu steuern. Das CiS Forschungsinstitut entwickelt das Ammoniak-Sensorsystem, das kombiniert mit einem Schwefelwasserstoffsensor eingesetzt werden soll
Innovative Prozess- und Sicherheitssensorik für den „grünen Wasserstoff“
/in Energie, MEMSDie Nationale Wasserstoffstrategie der Bundesregierung bildet einen Baustein für eine erfolgreiche Klimawende und sichere Energieversorgung. Als Entwicklungspartner anwendungsspezifischer Silizium-Sensoren widmet sich das CiS Forschungsinstitut in Forschungsprojekten dem Thema „Grüner Wasserstoff“. Inhaltliche Zusammenarbeit zu aktuellen Forschungsthemen, so auch zu Wasserstoff bündelt auf regionaler Ebene der FTVT
Langzeitstabile Passivierungen von piezoresitiven Sensoren für anspruchsvolle Sensorumgebungen
/in Druck, MEMSDer direkte Medienkontakt ist für siliziumbasierte Mikrosensoren aufwendig umzusetzen. Um die Miniaturisierung vollständig auszunutzen, wird der Korrosionsschutz auf Chipebene aufgebracht. Damit wird eine Anwendung in anspruchsvolleren Umgebungen auch ohne zusätzliche Schutzkonstruktionen möglich
SiCer-Technologie für High Performance Sensorsysteme
/in Energie, Medizintechnik, MEMSIm Rahmen InnoCON Thüringen 2020 am 24.11.2020 erläuert Dr. Olaf Brodersen aktuelle Ergebnisse des Wachstumskerns HIPs und die darin zu entwickelnden SiCer-Technologien für High Performance Sensorsysteme. Die InnoCON startet als online-Veranstaltung um 15:00 Uhr
Patentanmeldung für Multilayer-Aufbauten für chemisch resistente, langzeitstabile Differenzdrucksensoren
/in Druck, MEMSHarsche Umgebungsbedingen erfordern robuste und stabile Drucksensoren. Mit der Neu- und Weiterentwicklung von Wafer-Level-Packaging-Technologien werden die Performance gesteigert, Einsatzbereiche erweitert und Herstellkosten gesenkt. Das Ergebnis ist als Patent angemeldet