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Archiv für die Kategorie: MEMS

Sie sind hier: Startseite1 / MEMS

Photoakustische Gassensoren auf Basis von Wafer-Level-Packaging

22. April 2021/in MEMS, Waferprozessierung

Photoakustische Sensoren messen hochempfindlich Kohlendioxid und Stickoxide. Zunehmend werden andere Gase wie Methan, Ammoniak, Ethylen oder auch Gaslecks bei Pipelines detektiert. Das CiS Forschungsinstitut startet im Projekt PAS die Entwicklung eines integriert herstellbaren photoakustischen Gassensors auf Basis von NDIR-Sensoren

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-04-22-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-04-22 15:11:002021-04-26 15:31:39Photoakustische Gassensoren auf Basis von Wafer-Level-Packaging

Mit Messestand auf der HM21 Digital Edition

12. April 2021/in Druck, Kraft, MEMS, MOEMS, UV, Veranstaltungen

In dieser Woche präsentieren wir auf der HM21 Digital Edition aktuelle Forschungsthemen und Projektergebnisse in der Entwicklung siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-04-12-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-04-12 10:40:002022-08-22 08:48:46Mit Messestand auf der HM21 Digital Edition

Erster Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS

25. März 2021/in AVT, MEMS, Veranstaltungen, Waferprozessierung

Der 1. Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS findet am 7. April 2021 als kostenfreie online-Veranstaltung statt. Vom Gastgeber TU Ilmenau organisiert sind von 9:00 bis 16:30 Uhr Gäste und Interessenten herzlich willkommen. Das CiS Forschungsinstitut beteiligt sich in zwei Projekten an der Entwicklung einer innovativen Multisensorplattform für die Erfassung Sensorinformationen in anspruchsvollen Umgebungen

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-03-25-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-03-25 14:35:002021-03-30 14:49:09Erster Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS

H2MEMS – Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von siliziumbasierten MEMS-Sensorstrukturen

12. März 2021/in Druck, Energie, MEMS

Als Spezialist für die Entwicklung siliziumbasierter Drucksensoren entwickelt und testet das CiS Forschungsinstitut im Projekt H2MEMS mit den Partnern Palladium-beschichtete MEMS-Strukturen. Die Volumenausdehnung von Palladium bei der Wasserstoffeinlagerung wird dabei als Messprinzip erprobt

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-03-12-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-03-12 07:30:002021-03-30 07:41:16H2MEMS – Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von siliziumbasierten MEMS-Sensorstrukturen

NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors

24. Februar 2021/in Kraft, MEMS

Für die Bestimmung der Oberflächenhärte im Nanometerbereich wird im gerade gestarteten Projekt „NanoSense“ ein neuer Messkopf aus der Kombination eines Kraft- und Wegsensors entwickelt. Er soll modular an gängige Universalprüfmaschinen und XY-Achsen Manipulatoren angeschlossen werden

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-02-24-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-02-24 15:45:122021-02-24 15:48:15NanoSense – Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors

Webinar mit Live-Demo: Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren

17. Februar 2021/in AVT, Kraft, MEMS, Veranstaltungen

MEMS-basierte piezoresistive Kraftsensoren können zur Überwachung von Vorspannkräften oder zum Monitoring von Kontaktkräften eingesetzt werden. Unser Webinar geht auf die technischen Grundlagen solcher Sensoren ein und wir zeigen Ihnen einige Demonstratoren von uns entwickelter Silizium-Dehnmessstreifen (Si-DMS)

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-02-17-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-02-17 15:21:002021-02-24 15:35:14Webinar mit Live-Demo: Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren

AmmoniaSense – Entwicklung eines InLine-Messsystems mit Hilfe eines innovativen Ammoniaksensors

5. Februar 2021/in Energie, MEMS

Ziel des neu gestarteten ZIM-Kooperationsprojektes AmmoniaSense ist die Erfassung der Ammoniakkonzentration mit einem stationären Inline-Messsystem, um damit Biogasanlagen optimal zu steuern. Das CiS Forschungsinstitut entwickelt das Ammoniak-Sensorsystem, das kombiniert mit einem Schwefelwasserstoffsensor eingesetzt werden soll

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-02-05-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-02-05 11:34:122021-02-15 10:11:16AmmoniaSense – Entwicklung eines InLine-Messsystems mit Hilfe eines innovativen Ammoniaksensors

Innovative Prozess- und Sicherheitssensorik für den „grünen Wasserstoff“

15. Januar 2021/in Energie, MEMS

Die Nationale Wasserstoffstrategie der Bundesregierung bildet einen Baustein für eine erfolgreiche Klimawende und sichere Energieversorgung. Als Entwicklungspartner anwendungsspezifischer Silizium-Sensoren widmet sich das CiS Forschungsinstitut in Forschungsprojekten dem Thema „Grüner Wasserstoff“. Inhaltliche Zusammenarbeit zu aktuellen Forschungsthemen, so auch zu Wasserstoff bündelt auf regionaler Ebene der FTVT

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2021-01-15-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-01-15 08:17:002021-02-15 10:16:08Innovative Prozess- und Sicherheitssensorik für den „grünen Wasserstoff“

Langzeitstabile Passivierungen von piezoresitiven Sensoren für anspruchsvolle Sensorumgebungen

11. Januar 2021/in Druck, MEMS

Der direkte Medienkontakt ist für siliziumbasierte Mikrosensoren aufwendig umzusetzen. Um die Miniaturisierung vollständig auszunutzen, wird der Korrosionsschutz auf Chipebene aufgebracht. Damit wird eine Anwendung in anspruchsvolleren Umgebungen auch ohne zusätzliche Schutzkonstruktionen möglich

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/2020/12/news-2021-01-11-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2021-01-11 14:50:002022-08-22 08:50:16Langzeitstabile Passivierungen von piezoresitiven Sensoren für anspruchsvolle Sensorumgebungen

SiCer-Technologie für High Performance Sensorsysteme

24. November 2020/in Energie, Medizintechnik, MEMS

Im Rahmen InnoCON Thüringen 2020 am 24.11.2020 erläuert Dr. Olaf Brodersen aktuelle Ergebnisse des Wachstumskerns HIPs und die darin zu entwickelnden SiCer-Technologien für High Performance Sensorsysteme. Die InnoCON startet als online-Veranstaltung um 15:00 Uhr

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2020-11-24-home.jpg 91 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2020-11-24 11:15:002021-02-15 10:21:37SiCer-Technologie für High Performance Sensorsysteme
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  • Vier Teams des CiS Forschungsinstituts beim Erfurt-Triathlon 2026

    27. August 2026
  • Projektabschluss miniOffset: Piezoresistive Technologie-Plattform mit minimalem Offset

    19. August 2026
  • Projektabschluss InOxA: Innovative Oxidaufbauten für die Passivierung der Grenzflächen von Silizium

    12. August 2026
  • Projektabschluss PJS: Piezo-junction-Effekt basierte on-chip Multi-Sensoren

    5. August 2026
  • Projektstart CryoMAG-RX: Präziser Temperatursensor für kryogene Temperaturen

    29. Juli 2026

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